李涛涛

作品数：3被引量：2H指数：1
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供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
发文主题：氮化硼纳米片氮化硼纳米管前驱物批次更多>>
发文领域：一般工业技术理学电子电信冶金工程更多>>
发文期刊：《无机材料学报》《人工晶体学报》《材料导报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金江苏省自然科学基金更多>>
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(Ti/ZnO)_(N)成分调制纳米多层膜的结构与透光导电性研究被引量：1
《人工晶体学报》2021年第8期1478-1484,共7页牛犇 吴隽 王凯丰 黄成斌 付豪 祝柏林 李涛涛 姚亚刚 
中国科学院苏州纳米技术与仿生研究所纳米器件与应用重点实验室项目(15QT02)。
采用射频(RF)和单极中频直流脉冲磁控溅射方法,在玻璃基板上制备了(Ti/ZnO)_(N)成分调制纳米多层膜,并研究了调制周期数对其结构及透光导电性能的影响。通过X射线衍射、拉曼光谱、原子力显微镜、紫外可见吸收光谱以及霍尔效应测试结果表...
关键词：磁控溅射 (Ti/ZnO)_(N) 调制周期数 透光率 电性能 
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