程新红

作品数：2被引量：5H指数：1
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供职机构：中国科学院金属研究所更多>>
发文主题：金刚石流场反应器设计气相生长温度场更多>>
发文领域：电子电信金属学及工艺化学工程更多>>
发文期刊：《真空》更多>>
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热丝化学气相生长金刚石温度场流场模拟计算和反应器设计原理研究
《真空》1999年第1期12-17,共6页陈岩 于杰 陈广超 程新红 曹晓明 张军旗 宋贵宏 刘德义 苏革 黄荣芳 闻立时 师昌绪 
国家自然科学基金
在对于现有金刚石气相生长工艺特点综合分析的基础上，通过对于热丝化学气相生长金刚石工艺过程状态参数的空间场模拟及相应的实验研究，揭示了热阻塞、热绕流等背离反应基本条件的现象，以及状态参数高度不均匀性的场分布，导致偏离金...
关键词：化学气相生长 金刚石 模拟 流场 反应器 热丝 
热丝化学气相生长金刚石温度场流场模拟计算和反应器设计原理研究被引量：5
《真空》1998年第6期11-17,共7页陈岩 于杰 陈广超 程新红 曹晓明 张军旗 宋贵宏 刘德义 苏革 黄荣芳 闻立时 师昌绪 
国家自然科学基金八五重大项目
在对于现有金刚石气相生长工艺特点综合分析的基础上，通过对于热丝化学气相生长金刚石工艺过程状态参数的空间场模拟及相应的实验研究，揭示了热阻塞、热绕流等背离反应基本条件的现象，以及状态参数高度不均匀性的场分布，导致偏离金...
关键词：化学气相生长 金刚石 温度场 流场 反应器 薄膜 
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