曹晓明

作品数：3被引量：10H指数：2
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供职机构：中国科学院金属研究所更多>>
发文主题：反应器设计金刚石流场温度场气相生长更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术化学工程更多>>
发文期刊：《稀有金属材料与工程》《真空》更多>>
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SiC泡沫陶瓷材料的高温氧化行为被引量：5
《稀有金属材料与工程》2009年第A03期289-292,共4页郑传伟 杨振明 田冲 曹晓明 张劲松 
采用可控熔渗反应烧结法制备具有宏观三维连通结构的SiC泡沫陶瓷,研究了SiC泡沫在不同温度的氧气中的氧化行为。结果表明:在800～1300℃温度范围内,SiC泡沫陶瓷与块体SiC陶瓷类似,其氧化动力学曲线符合抛物线规律,氧化过程受氧化剂在氧...
关键词：SIC 泡沫陶瓷 氧化 结晶 
热丝化学气相生长金刚石温度场流场模拟计算和反应器设计原理研究
《真空》1999年第1期12-17,共6页陈岩 于杰 陈广超 程新红 曹晓明 张军旗 宋贵宏 刘德义 苏革 黄荣芳 闻立时 师昌绪 
国家自然科学基金
在对于现有金刚石气相生长工艺特点综合分析的基础上，通过对于热丝化学气相生长金刚石工艺过程状态参数的空间场模拟及相应的实验研究，揭示了热阻塞、热绕流等背离反应基本条件的现象，以及状态参数高度不均匀性的场分布，导致偏离金...
关键词：化学气相生长 金刚石 模拟 流场 反应器 热丝 
热丝化学气相生长金刚石温度场流场模拟计算和反应器设计原理研究被引量：5
《真空》1998年第6期11-17,共7页陈岩 于杰 陈广超 程新红 曹晓明 张军旗 宋贵宏 刘德义 苏革 黄荣芳 闻立时 师昌绪 
国家自然科学基金八五重大项目
在对于现有金刚石气相生长工艺特点综合分析的基础上，通过对于热丝化学气相生长金刚石工艺过程状态参数的空间场模拟及相应的实验研究，揭示了热阻塞、热绕流等背离反应基本条件的现象，以及状态参数高度不均匀性的场分布，导致偏离金...
关键词：化学气相生长 金刚石 温度场 流场 反应器 薄膜 
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