刘德义

作品数：4被引量：11H指数：2
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供职机构：中国科学院金属研究所更多>>
发文主题：尺寸效应反应器设计金刚石流场温度场更多>>
发文领域：电子电信金属学及工艺化学工程更多>>
发文期刊：《真空》《金属学报》《材料研究学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国防科技技术预先研究基金更多>>
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热丝化学气相生长金刚石温度场流场模拟计算和反应器设计原理研究
《真空》1999年第1期12-17,共6页陈岩 于杰 陈广超 程新红 曹晓明 张军旗 宋贵宏 刘德义 苏革 黄荣芳 闻立时 师昌绪 
国家自然科学基金
在对于现有金刚石气相生长工艺特点综合分析的基础上，通过对于热丝化学气相生长金刚石工艺过程状态参数的空间场模拟及相应的实验研究，揭示了热阻塞、热绕流等背离反应基本条件的现象，以及状态参数高度不均匀性的场分布，导致偏离金...
关键词：化学气相生长 金刚石 模拟 流场 反应器 热丝 
热丝化学气相生长金刚石温度场流场模拟计算和反应器设计原理研究被引量：5
《真空》1998年第6期11-17,共7页陈岩 于杰 陈广超 程新红 曹晓明 张军旗 宋贵宏 刘德义 苏革 黄荣芳 闻立时 师昌绪 
国家自然科学基金八五重大项目
在对于现有金刚石气相生长工艺特点综合分析的基础上，通过对于热丝化学气相生长金刚石工艺过程状态参数的空间场模拟及相应的实验研究，揭示了热阻塞、热绕流等背离反应基本条件的现象，以及状态参数高度不均匀性的场分布，导致偏离金...
关键词：化学气相生长 金刚石 温度场 流场 反应器 薄膜 
无界金属圆柱介电函数的经典尺寸效应被引量：2
《金属学报》1998年第8期819-823,共5页赵韦人 刘德义 黄荣芳 闻立时 
国防预研基金!93J10.010
用非平衡统计计算了无界金属圆柱的介电函数结果表明，电子非弹性散射的柱体表面会影响金属的内禀介电函数当往体半径减小到可与电子的平均自由程相比拟时，介电函数逐渐偏离块体值而依赖于局城位置．除了半径远小于电子平均自由程的区...
关键词：介电函数 尺寸效应 BOLTZMANN方程 无界金属圆柱 
热丝法化学气相沉积大面积金刚石膜中辐射场和温度场的尺寸效应被引量：5
《材料研究学报》1996年第3期279-284,共6页刘德义 黄荣芳 于杰 闻立时 师昌绪 
对热丝法化学气相沉积金刚石膜中的辐射场和温度场进行了计算结果表明，在样品平面沿Ｘ，Ｙ方向均匀辐照度（温度）区的线性尺寸比高温度梯度区的尺寸快速增大沿Ｚ方向均匀辐照度（温度）区的深度随样品到加热丝距离的增加而增大辐照度...
关键词：辐照场 金刚石膜 HFCVD 薄膜生长 
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