HFCVD

作品数:102被引量:204H指数:6
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BDD污水处理电极对染料废水降解脱色的研究
《广州化工》2024年第9期108-113,147,共7页张天颖 万方 邹西壮 张韬 薛喆 
江苏省自然科学基金(No:BK20201142);国家青年自然科学基金(No:51605280)。
染料废水是典型的高浓度、难降解的有机废水。实验以提高脱色效率及降低降解能耗为目的,依托电化学高级氧化法,利用硼掺杂金刚石薄膜电极对活性艳红X-3B模拟染料废水的降解工艺进行优化研究。实验采用偏压增强热丝化学气相沉积法设备以...
关键词:Ti基BDD电极 HFCVD 染料废水 活性艳红X-3B 
Si3N4工程陶瓷基底金刚石涂层生长规律及性能
《中国表面工程》2024年第1期179-191,共13页吴玉厚 杨淯淼 闫广宇 王贺 刘鲁生 白旭 张慧森 
国防科技创新特区计划(20-163-00-TS-006-002-11);国家自然科学基金(51975388);辽宁省科技计划(2018106007);沈阳市科技计划(18-400-6-05)。
为了避免氮化硅材料因产生裂纹或延伸破裂等造成的失效,利用热丝化学气相沉积法(Hot filament chemical vapor deposition,HFCVD)在氮化硅基底上沉积具有高硬度的金刚石涂层,采用单因素影响试验,分别探究碳源浓度、腔室压力、基底温度...
关键词:金刚石涂层 氮化硅 热丝化学气相沉积法(HFCVD) 
硬质合金激光改性协同仿生微织构对硼掺杂金刚石涂层性能的影响被引量:2
《表面技术》2023年第7期384-396,共13页苏泽彬 向道辉 李艳琴 彭培成 张志强 高国富 赵波 张智鹏 
河南省科技攻关项目(222102220005);国家自然科学基金(51975188)。
目的研制应用于超精密加工领域的高性能金刚石涂层,探究硬质合金基体表面激光微织构对硼掺杂金刚石(BDD)涂层沉积质量的影响,分析不同类型的仿生微织构对基–膜结合强度、工具切削性能的改善效果及原因。方法在硬质合金表面使用激光脉...
关键词:HFCVD 硼掺杂金刚石 仿生微织构 激光 切削性能 涂层附着力 
YG10钻齿表面制备HFCVD金刚石涂层的试验研究
《超硬材料工程》2023年第3期32-35,共4页马灵姬 周明 
为提高机械破除硬岩过程中刀齿耐磨性,提出采用热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石涂层硬质合金基体复合钻齿的研究课题。通过对滚刀破岩和钻齿磨损机理的研究,采用HFCVD法在YG10钻齿表面制备出了微-纳米复合金刚石涂层,并且通过采用预处理...
关键词:HFCVD 金刚石涂层 磨损机理 YG10钻齿 结合力 
微米及纳米WC-Co基BDD污水处理电极的制备研究被引量:2
《人工晶体学报》2023年第2期354-362,共9页张韬 薛喆 万方 张天颖 彭广盼 黄国栋 
江苏省自然科学基金(BK20201142);国家青年自然科学基金(51605280)。
硼掺杂金刚石(BDD)是高级氧化法污水处理领域的一种电极材料,其衬底材料的选择是电极涂层制备的核心问题之一,良好的衬底材料可提高膜基结合力,从而延长电极的使用寿命。本文提出以热膨胀系数较小的WC-Co为衬底,采用热丝化学气相沉积(HF...
关键词:BDD电极 WC-CO HFCVD 电化学 难降解有机废水 
SiC基底HFCVD金刚石薄膜摩擦磨损性能被引量:1
《金刚石与磨料磨具工程》2022年第3期283-289,共7页王贺 沈建辉 刘鲁生 闫广宇 吴玉厚 熊家骥 DANIEL Cristea 
国家自然科学基金(51942507);学科创新引智项目(D18017);沈阳市科技局(18-400-6-05);中央军委科技委项目(20-163-00-TS-006-002-11);福建省-中科院STS计划配套项目(2020T3001)。
利用热丝化学气相沉积技术在碳化硅基底上制备微米金刚石薄膜、纳米金刚石薄膜和金刚石–石墨复合薄膜,采用扫描电子显微镜、原子力显微镜和拉曼光谱仪对不同金刚石薄膜的表面形貌和微观结构进行表征,通过摩擦磨损实验测试金刚石薄膜的...
关键词:金刚石薄膜 碳化硅 石墨 摩擦磨损 化学气相沉积 
织构对硼掺杂金刚石涂层刀具摩擦学性能的影响被引量:4
《中国表面工程》2021年第1期50-59,共10页张志强 向道辉 胡永伟 陈艳彬 赵波 高国富 
国家自然科学基金(51975188);河南省自然科学基金(182300410200)资助项目。
利用激光技术在硬质合金刀具上分别制备椭圆织构和沟槽织构。同时,利用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在刀具上分别制备硼掺杂无织构金刚石(Boron doped un-texture diamond film,BDUTD film)薄膜、硼掺杂椭圆织构金刚石(Boron doped ellipt...
关键词:HFCVD 金刚石薄膜 表面织构 水润滑 摩擦磨损性能 
加工碳/碳复合材料的复合金刚石涂层刀具的制备及切削试验研究被引量:3
《材料保护》2020年第12期1-5,12,共6页郭振海 邓福铭 赵鑫 宋美娇 张磊 向道辉 
国家自然科学基金项目(51172278);教育部博士点基金(20120023110016)资助。
为了更高效地加工碳/碳复合材料,在硬质合金刀具上采用热丝CVD法(HFCVD)沉积了微米纳米复合金刚石(micro-nanocrystalline composite diamond,MNCD)薄膜,即先在基体表面沉积一层微米金刚石(microcrystalline diamond,MCD)薄膜,然后不间...
关键词:碳/碳复合材料 微纳米复合金刚石薄膜 HFCVD 切削试验 刀具磨损 
Structure,morphology and electrical resistance of W_(x)N thin film synthesized by HFCVD method with various N_(2) contents
《Rare Metals》2020年第12期1440-1448,共9页Somayeh Asgary Mohammad Reza Hantehzadeh Mahmood Ghoranneviss Arash Boochani 
Tungsten nitride(W_(x)N)thin films with good crystalline structure,high quality and relatively low resistivity were deposited by hot filament chemical vapor deposition(HFCVD)technique at different mixtures of N2 and A...
关键词:Tungsten nitride Thin film HFCVD Electrical resistivity Diffusion barriers 
金刚石薄膜连续制备的热丝化学气相沉积设备研制被引量:4
《真空》2020年第6期1-4,共4页刘鲁生 翟朝峰 杨兵 宋昊哲 于岐 史丹 袁子尧 卢志刚 陈滨 周美琪 李海宁 喻彪 黄楠 姜辛 
国家自然科学基金项目(51702326)。
根据目前热丝化学气相沉积(Hot Filament Chemical Vapour Deposition,HFCVD)金刚石薄膜制备设备现状:存在热丝多为水平放置碳化变脆后易发生断裂、不能实现CVD金刚石薄膜的连续制备、生产成本高及制备效率低等缺点,依据热丝化学气相沉...
关键词:金刚石薄膜连续制备 HFCVD 镀膜流程 
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