王晓波

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：西安交通大学电子与信息工程学院电子物理与器件教育部重点实验室更多>>
发文主题：表面织构X射线光电子能谱改性技术碳膜四面体非晶碳更多>>
发文领域：轻工技术与工程更多>>
发文期刊：《物理学报》更多>>
所获基金：陕西省“13115”科技创新工程重大科技专项更多>>
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基底表面纳米织构对非晶四面体碳膜结构和摩擦特性的影响研究被引量：2
《物理学报》2015年第3期440-445,共6页安书董 王晓燕 陈仙 王炎武 王晓波 赵玉清 
陕西省"13115"科技创新工程重大科技专项(批准号:2009ZDKG-29)资助的课题~~
本文利用离子束表面改性技术对基底表面进行不同时间的轰击,形成不同规则的纳米织构,对不同织构的变化规律进行了研究,同时,利用磁过滤真空阴极电弧技术,在具有不同纳米织构的各基底上沉积相同时间的四面体非晶碳薄膜.采用原子力显微镜...
关键词：四面体非晶碳 离子束改性技术 表面织构 X射线光电子能谱 
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