赵玉清

作品数：31被引量：54H指数：3
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供职机构：西安交通大学更多>>
发文主题：电弧放电四面体潘宁离子源离子源磁透镜更多>>
发文领域：理学电子电信金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《现代电子技术》《西安交通大学学报》《中国学术期刊文摘》《核科学与工程》更多>>
所获基金：陕西省“13115”科技创新工程重大科技专项国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金深圳市科技计划项目更多>>
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衬底温度对柔性硫化锌薄膜结构与光学性能的影响被引量：3
《真空科学与技术学报》2023年第3期245-251,共7页李远洁 朱瑄 赵玉清 
深圳市科技计划基础研究项目(JCYJ20180306170801080)。
本文利用射频磁控溅射薄膜沉积技术在柔性聚酰亚胺(PI)、氧化铟锡(ITO)玻璃及石英玻璃衬底上制备了透明硫化锌(ZnS)薄膜。通过改变生长过程中的衬底温度,全面系统地研究了衬底温度对柔性和刚性ZnS薄膜的晶体结构、光透过率、光学常数以...
关键词：柔性ZnS薄膜 光透过率 射频磁控溅射 光学折射率 
离子束轰击改性对基底表面织构形成规律的影响研究被引量：2
《真空科学与技术学报》2015年第3期354-357,共4页安书董 王晓燕 陈仙 王炎武 赵玉清 
陕西省"13115"科技创新工程重大科技专项资助的课题(批准号:2009ZDKG-29)
利用氩离子束对硅基底表面进行轰击,形成了不同规则的纳米织构,对不同织构的变化规律进行系统的研究,采用原子力显微镜分析表面形貌。结果表明,随着氩离子垂直轰击基底表面的时间从0增加到15 min,表面粗糙度由0.205增大到0.490 nm,且当...
关键词：离子束改性技术 纳米织构 表面形貌 表面粗糙度 
基底表面纳米织构对非晶四面体碳膜结构和摩擦特性的影响研究被引量：2
《物理学报》2015年第3期440-445,共6页安书董 王晓燕 陈仙 王炎武 王晓波 赵玉清 
陕西省"13115"科技创新工程重大科技专项(批准号:2009ZDKG-29)资助的课题~~
本文利用离子束表面改性技术对基底表面进行不同时间的轰击,形成不同规则的纳米织构,对不同织构的变化规律进行了研究,同时,利用磁过滤真空阴极电弧技术,在具有不同纳米织构的各基底上沉积相同时间的四面体非晶碳薄膜.采用原子力显微镜...
关键词：四面体非晶碳 离子束改性技术 表面织构 X射线光电子能谱 
基于LabVIEW的碳基薄膜制备自动控制系统开发研究被引量：2
《现代电子技术》2015年第2期111-114,共4页安书董 毕鹏 赵海天 赵玉清 
陕西省"13115"科技创新工程重大科技专项(2009ZDKG-29)资助的课题
基于Lab VIEW图形化编程软件和PCI1711多功能卡,设计开发了用于真空等离子镀膜机的自动控制系统,实现了对四面体非晶碳薄膜制备工艺的自动控制。该系统共分为5个模块:镀膜机各设备的电源控制(70路)、模/数转换(32路)、数模转换(32路)、...
关键词：四面体非晶碳薄膜 真空磁过滤多弧 离子束表面改性 
非晶氧化钛薄膜形成过程中钛离子能量对表面结构影响的机理被引量：1
《物理学报》2014年第24期284-288,共5页陈仙 王炎武 王晓艳 安书董 王小波 赵玉清 
研究了非晶氧化钛薄膜沉积过程中入射钛离子能量对表面结构形成机理以及薄膜特性的影响.模拟结果表明,通过提高入射钛离子能量,可以有效降低成膜表面粗糙度,从而减小薄膜表面的光学散射损耗.研究发现,当入射离子能量提高后,薄膜生长模式...
关键词：薄膜生长 分子动力学 表面结构 
氮化铬过渡层对四面体非晶碳薄膜在高速钢基底上附着特性影响的研究被引量：1
《物理学报》2013年第9期363-369,共7页韩亮 刘德连 陈仙 赵玉清 
中央高校基本科研业务费专项资金资助(批准号:K5051205001)资助的课题~~
利用磁过滤阴极电弧与磁控溅射相结合的薄膜沉积技术在高速钢基底上制备了氮化铬/四面体非晶碳(CrN/ta-C)复合涂层,通过改变过渡层氮化铬(CrN)的制备工艺,研究了四面体非晶碳(ta-C)薄膜在钢基底材料上的附着特性的变化.结果表明,随着氮...
关键词：附着力 四面体非晶碳薄膜 X射线衍射 拉曼光谱 
氮离子轰击能量对ta-C:N薄膜结构的影响被引量：1
《物理学报》2012年第10期349-355,共7页韩亮 邵鸿翔 何亮 陈仙 赵玉清 
陕西省"13115"科技创新工程重大科技专项(批准号:2009DKG-29);中央高校基本科研业务费专项资金资助的课题~~
利用磁过滤真空阴极电弧技术制备了sp^3键含量不小于80%的四面体非晶碳薄膜(ta-C),然后通过氮离子束改性技术制备了氮掺杂的四面体非晶碳(ta-C:N)薄膜.利用Raman光谱和X射线光电子能谱对薄膜结构的分析,研究了氮离子轰击能量对ta-C:N薄...
关键词：ta—C:N薄膜 氮离子 RAMAN光谱 X射线光电子能谱 
氮化物硬质涂层中Cr、Ti和Al元素对摩擦磨损特性的影响被引量：17
《真空》2012年第2期47-51,共5页韩亮 杨立 陈仙 张颖 赵玉清 
陕西省13115重大科技创新工程专项资助(项目编号2009ZDKG-29)
利用四靶闭合场非平衡磁控溅射(CFUBMS)技术在石英玻璃和抛光不锈钢片两种基底上制备含有Cr、Ti和Al元素组合的各种氮化物涂层。采用摩擦磨损仪测试涂层摩擦系数,应用金相显微镜对各个涂层磨痕形态进行分析,结果表明TiN、CrN、TiAlN、Cr...
关键词：非平衡磁控溅射 氮化物涂层 摩擦磨损特性 
高能氮离子轰击对四面体非晶碳膜的表面改性和摩擦系数影响的研究被引量：1
《物理学报》2011年第6期584-588,共5页韩亮 陈仙 杨立 王炎武 王晓艳 赵玉清 
陕西省"13115"科技创新工程重大科技专项(批准号:2009ZDKG-29)资助的课题~~
利用过滤阴极真空电弧技术制备了sp3键含量不小于80%的四面体非晶碳(ta-C)膜.利用冷阴极潘宁离子源产生不同能量的氮离子对制备的ta-C薄膜进行轰击,通过X射线光电子能谱和原子力显微镜对薄膜表面结构与形貌进行分析研究.研究表明,随着...
关键词：四面体非晶碳 X射线光电子能谱 摩擦系数 
磁过滤器电流对非晶碳薄膜摩擦学特性影响的研究被引量：3
《物理学报》2011年第4期530-534,共5页韩亮 杨立 杨拉毛草 王炎武 赵玉清 
陕西省"13115"科技创新工程重大科技专项项目计划(批准号:2009ZDKG-29)资助的课题~~
研究了过滤阴极真空电弧技术中,不同的磁过滤器电流下(5—13A),制备的四面体非晶碳(ta-C)薄膜对摩擦学特性的影响.通过对薄膜厚度,薄膜结构以及薄膜表面粗糙度随磁过滤电流的变化结果进行了测试,结果表明,随着磁过滤器电流的增大,薄膜的...
关键词：四面体非晶碳 过滤阴极真空电弧 磁过滤器电流 摩擦系数 
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