四面体非晶碳

作品数：26被引量：61H指数：5
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相关领域：一般工业技术理学更多>>
相关作者：朱嘉琦韩杰才孟松鹤高巍汪爱英更多>>
相关机构：哈尔滨工业大学广东工业大学中国科学院宁波材料技术与工程研究所西安电子科技大学更多>>
相关期刊：《真空科学与技术学报》《电镀与涂饰》《真空》《金属学报》更多>>
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碳源入射角对超薄四面体非晶碳膜结构和性能的影响
《硅酸盐学报》2022年第5期1385-1390,共6页党坤 王华 陈维铅 李玉宏 许世鹏 
甘肃省高等学校科研项目(2020A-286);酒泉市科技支撑计划项目。
利用45°双弯曲磁过滤阴极真空电弧技术制备超薄四面体非晶碳膜,研究碳源入射角变化对超薄四面体非晶碳膜润湿性、表面能、粗糙度、表面形貌、摩擦系数和微观结构的影响以及它们之间的构效关系。结果表明:碳源入射角从0°增加到60°,薄...
关键词：四面体非晶碳膜 碳源入射角 微观结构 润湿性 表面形貌 
偏压对四面体非晶碳膜结构和性能的影响被引量：1
《表面技术》2021年第3期284-292,共9页李洪 李玉婷 林松盛 石倩 郭朝乾 苏一凡 代明江 
广东省重点领域研发计划项目(2020B010185001);广州市重点领域研发计划项目(202007020008);清远市科技计划项目(2019A002);广州市科技计划项目(201904010261);广东省科学院项目(2020GDASYL-20200105004,2018GDASCX-0402,2018GDASCX-0111)。
目的通过系统研究电弧离子镀偏压对四面体非晶碳膜(ta-C膜)结构及性能的影响规律,阐明偏压对ta-C膜结构及性能的影响机制,为拓展ta-C膜的应用提供一定的理论依据。方法改变电弧离子镀偏压工艺,在硬质合金基体表面沉积ta-C单层膜。采用...
关键词：四面体非晶碳膜 偏压 电弧离子镀 结构 性能 
真空阴极多弧离子镀不同厚度四面体非晶碳薄膜的结构和性能被引量：3
《电镀与涂饰》2018年第16期716-721,共6页李玉婷 代明江 李洪 林松盛 石倩 韦春贝 苏一凡 郭朝乾 
广东省科技计划项目(2017A050506037,2017A070701027);2017省院科技创新发展专项(2017GDASCX-0844);2017省院科技创新发展专项(2017GDASCX-0111)。
以真空阴极多弧离子镀技术在P(100)型单晶抛光硅衬底和YG6硬质合金上制备了四面体非晶碳(ta-C)薄膜。用扫描电镜(SEM)测量薄膜厚度,并观察其表面及断面形貌;用X射线衍射仪(XRD)分析薄膜的相组成;用拉曼光谱标定薄膜中的sp3键和sp2键;用...
关键词：真空阴极多弧离子镀 硬质合金 四面体非晶碳 薄膜 形貌 粗糙度 拉曼光谱 结合强度 
退火温度对金属催化四面体非晶碳转变为石墨烯过程的影响被引量：6
《材料研究学报》2018年第5期341-347,共7页刘盼盼 李汉超 杨林 郭婷 柯培玲 汪爱英 
国家自然科学优秀青年基金(51522106);国家自然科学基金(51371187);国家重点基础研究发展计划(2013CB632302);浙江省公益项目(2016C31121)~~
设计了金属催化剂Ni/四面体非晶碳(ta-C)/基底三层结构,使用磁过滤阴极真空电弧设备制备了ta-C薄膜,用电子束蒸镀技术制备Ni薄膜,并对其进行快速热处理调控非晶碳转变石墨烯的过程,重点研究了热处理温度对石墨烯生长的影响。结果表明,...
关键词：无机非金属材料 多层石墨烯 快速热处理 Ni催化 四面体非晶碳 
刻蚀工艺对四面体非晶碳膜生长及其性能的影响被引量：2
《表面技术》2017年第4期143-149,共7页郭婷 左潇 郭鹏 李晓伟 吴晓春 谢仕芳 汪爱英 
国家自然科学基金面上项目(51371187);江西省科技项目(20161ACE50023);浙江省公益项目(2016C31121)~~
目的研究不同等离子体刻蚀工艺对基体和四面体非晶碳膜(ta-C)的影响,并进一步考察不同电弧等离子体刻蚀时间对ta-C薄膜结构的影响。方法采用自主设计研制的45°单弯曲磁过滤阴极真空电弧镀膜设备,进行不同等离子体刻蚀以及ta-C薄膜的沉...
关键词：四面体非晶碳膜 辉光刻蚀 电弧刻蚀 刻蚀时间 结构 
脉冲偏压对磁过滤阴极电弧离子镀ta-C薄膜性能的影响被引量：5
《真空科学与技术学报》2017年第1期78-82,共5页董中林 于振华 施毅 李琦 杨木 王永庆 干蜀毅 
在不同脉冲偏压值下采用90°弯管磁过滤阴极电弧离子镀于硅片表面制备四面体非晶碳膜(Ta-C),研究了脉冲偏压对薄膜硬度、沉积速率、表面形貌及键价结构的影响。结论表明,薄膜沉积速率随脉冲偏压值的增加呈先增后减趋势,偏压值与膜层硬...
关键词：脉冲偏压 磁过滤 四面体非晶碳 sp^3键 硬度 
基底表面纳米织构对非晶四面体碳膜结构和摩擦特性的影响研究被引量：2
《物理学报》2015年第3期440-445,共6页安书董 王晓燕 陈仙 王炎武 王晓波 赵玉清 
陕西省"13115"科技创新工程重大科技专项(批准号:2009ZDKG-29)资助的课题~~
本文利用离子束表面改性技术对基底表面进行不同时间的轰击,形成不同规则的纳米织构,对不同织构的变化规律进行了研究,同时,利用磁过滤真空阴极电弧技术,在具有不同纳米织构的各基底上沉积相同时间的四面体非晶碳薄膜.采用原子力显微镜...
关键词：四面体非晶碳 离子束改性技术 表面织构 X射线光电子能谱 
掺杂碳基涂层抗摩耐磨性能的改进
《工具技术》2014年第2期I0002-I0004,共3页豪泽 
在苛刻的工作条件下，涂层技术可以减小摩擦和提高零部件的耐磨性，因此成为减少CO2排放的途径之一，在汽车行业得到了广泛的应用。为了适应当前提高工作温度和降低润滑油粘度的发展趋势，豪泽（Hauzer）公司开始对类金刚石（DLC）涂层...
关键词：涂层技术 耐磨性能 掺杂技术 碳基 四面体非晶碳 CO2排放 润滑油粘度 DLC涂层 
磁过滤阴极电弧技术沉积高sp^3键含量四面体非晶碳薄膜的工艺优化研究被引量：5
《真空科学与技术学报》2013年第3期203-207,共5页韩亮 张涛 刘德连 
中央高校基本科研业务费专项资金资助(No.K5051205001)
通过对不同基片偏压下磁过滤器电流对四面体非晶碳(ta-C)薄膜sp3键含量影响的研究,探讨了磁过滤阴极电弧技术制备高sp3键ta-C薄膜优化工艺条件。在不同的基片偏压下,薄膜沉积率随着磁过滤器电流增大而增大。当基片偏压为200 V时,磁过滤...
关键词：四面体非晶碳 拉曼光谱 sp3键 基片偏压 磁过滤器电流 
以四面体非晶碳为布拉格反射栅高声阻抗材料的固贴式薄膜体声波谐振器性能仿真分析被引量：1
《功能材料》2012年第14期1872-1875,共4页陆晓欣 朱嘉琦 王赛 刘罡 刘远鹏 袁欣薇 霍施宇 
国家自然科学基金资助项目(51072039;50972031);教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-10-0070);黑龙江省自然科学基金资助项目(QC2009C56)
为了提高固贴式薄膜体声波谐振器(SMR)的电学和声学品质,实现四面体非晶碳(ta-C)在体声波器件领域的新应用,建立了以ta-C为布拉格反射栅高声阻抗材料的SMR模型,利用MathCAD仿真研究布拉格反射栅层数对该SMR的谐振特性的影响以及ta-C中sp...
关键词：固贴式薄膜体声波谐振器 四面体非晶碳 布拉格反射栅 品质因子 
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