陈曙光

作品数:1被引量:2H指数:1
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供职机构:江苏金方圆数控机床有限公司更多>>
发文主题:CVD金刚石膜金刚石膜抛光更多>>
发文领域:金属学及工艺更多>>
发文期刊:《扬州大学学报(自然科学版)》更多>>
所获基金:江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金江苏省高等学校大学生实践创新训练计划项目国家教育部博士点基金更多>>
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金刚石膜抛光表面缺陷对其红外透射率的影响被引量:2
《扬州大学学报(自然科学版)》2009年第3期30-33,共4页陈荣发 陈曙光 沈茂松 沈兆侠 戴良刚 秦康生 
教育部博士点专项基金资助项目(20060287019);江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金资助项目(JSPM200705);江苏省高等学校大学生实践创新训练计划资助项目;扬州大学科技创新培育基金资助项目(200809)
通过等离子体喷射CVD(chemical vapor deposition)方法生长了光学级金刚石厚膜,运用电火花和机械抛光技术对厚膜进行了双面抛光,并研究抛光表面缺陷对厚膜红外透射率的影响.结果表明:表面的台阶、孔洞、裂纹和沟槽等缺陷均会引起入射红...
关键词:CVD金刚石膜 表面缺陷 红外透射率 
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