王倩

作品数：9被引量：10H指数：2
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供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文主题：准分子激光器激光器参考电极敏感场读出电路更多>>
发文领域：电子电信理学机械工程经济管理更多>>
发文期刊：《中国管理信息化》《中国激光》《物理学报》《激光与光电子学进展》更多>>
所获基金：应用光学国家重点实验室开放基金国家科技重大专项中国工程院咨询项目国家自然科学基金更多>>
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F-P腔翠绿宝石激光器中的热效应及输出功率凹陷被引量：1
《中国激光》2023年第19期38-45,共8页彭锦 范元媛 林政吉 亓岩 颜博霞 周密 韩哲 王倩 王宇 
国家自然科学基金(12074405);中国科学院科研仪器设备研制项目(YJKYYQ20210031);中国科学院青年创新促进会(2020121);中国科学院功能晶体与激光技术重点实验室开放课题。
翠绿宝石晶体的热透镜效应会严重影响激光器的输出性能。首先通过建立晶体的热传导模型,合理设定边界条件并求解相应的热传导方程,对造成热效应的三个因素进行分析,计算了相应因素下热焦距的理论值。然后,利用谐振腔的临界稳定条件,对...
关键词：激光器 翠绿宝石晶体 热透镜效应 F-P腔 热焦距 
准分子激光器预电离过程影响分析
《物理学报》2023年第19期119-125,共7页王倩 范元媛 赵江山 刘斌 亓岩 颜博霞 王延伟 周密 韩哲 崔惠绒 
国家自然科学基金(批准号:12074405);中国科学院青年创新促进会(批准号:2020121)资助的课题。
准分子激光器由于其短波长、高重频、大能量在国民经济生产中具有重要作用.在准分子激光器应用场景及输出特性中,光束质量及能量稳定性是高端准分子光源的指标,而预电离过程发展得充分与否是准分子激光系统能否输出高光束质量、能量稳...
关键词：准分子激光器 流体模型 预电离 电子密度 
战略性先导科技专项经费管理探讨被引量：1
《中国管理信息化》2022年第16期7-9,共3页崔惠绒 江锐 王倩 苏国强 张蒙蒙 
战略性先导科技专项(以下简称“先导专项”)是国家围绕创新驱动发展战略,提升自主创新能力、建设创新型国家的一项战略任务。文章主要分析先导专项经费管理现状,对现阶段先导专项经费管理现状进行详细剖析,并提出加强先导专项经费管理...
关键词：战略性先导科技专项 先导专项 经费管理 内控管理 
科研机构知识产权作价出资国资备案全流程探析
《国有资产管理》2021年第6期50-53,共4页崔惠绒 江锐 李慧 俆向宇 王倩 
知识产权作价出资国资备案是指科研机构按有关规定对其所拥有的专利等知识产权进行评估后,在作价出资经济行为发生前将评估项目的具体情况向备案管理部门报告并由后者受理的行为。随着高科技信息化时代的快速发展,专利以及专有技术等技...
关键词：作价出资 技术类无形资产 知识产权 科研机构 专有技术 评估项目 流程探析 国资 
光刻用准分子激光器光谱控制中温度分布对输出光谱影响特性分析
《激光与光电子学进展》2021年第9期266-272,共7页王倩 赵江山 郭馨 范元媛 周翊 江锐 
国家重大科技专项(2013ZX02202);国家自然科学基金(61705235);应用光学国家重点实验室开放基金(SKLAO-201915)。
研究了激光传输过程线宽压窄模块内部热量累积对系统输出光谱的影响。通过理论分析及实验验证,分析了激光光束传输条件下,棱镜温度变化引起的材料折射率分布不均匀,以及不同惰性气体对输出激光光谱长时间稳定性的影响。结果表明,激光与...
关键词：激光光学 准分子激光器 窄线宽 热效应 惰性气体 
红外热辐射光源配光特性的快速测量及仿真被引量：3
《光学学报》2021年第2期84-90,共7页邱乙耕 范元媛 王倩 颜博霞 王延伟 韩哲 亓岩 
国家重点研发计划(2018YFF01011801);应用光学国家重点实验室开放基金(SKLAO-201915);中国科学院青年创新促进会(2020121)。
红外热辐射光源在光声光谱检测等领域具有重要的应用价值,明确其配光特性是后续光学系统设计的基础。根据水冷散热下红外热辐射光源辐射通量的变化规律,提出快速获取高功率红外热辐射光源配光特性的方法并对其进行相关验证。实验结果表...
关键词：测量 配光曲线 红外热辐射光源 光学建模 配光特性 
不同缓冲气体中ArF准分子激光系统放电特性分析被引量：2
《物理学报》2020年第17期127-134,共8页王倩 赵江山 范元媛 郭馨 周翊 
国家科技重大专项(批准号:2013ZX02202);应用光学国家重点实验室开放基金(批准号:SKLAO-201915)资助的课题.
为深入理解挖掘ArF准分子激光系统运转机制,进而获得ArF准分子激光系统设计优化的理论及方向性指导,文章基于流体模型,以气体高压放电等离子体深紫外激光辐射过程为主要研究对象,研究了放电抽运ArF准分子激光系统的动力学特性,分析了不...
关键词：ArF准分子激光 流体模型 电子数密度 光电离 
预电离效应对ArF准分子激光特性的影响分析
《半导体光电》2020年第4期517-522,共6页苏丹 赵江山 王倩 
国家科技重大专项项目(2013ZX02202)。
利用流体模型对ArF准分子激光气体放电过程进行了数值模拟,通过对比不同初始预电离强度下的气体放电情况,分析了预电离效应对准分子激光系统放电特性的影响,并探究了不同气体参数下的预电离效果。结果表明,初始预电离强度对于极间击穿...
关键词：准分子激光 气体放电 流体模型 预电离 击穿电压 
我国准分子激光技术发展现状及趋势研究被引量：3
《中国工程科学》2020年第3期29-34,共6页范元媛 周翊 郭馨 王倩 金春水 楼祺洪 
中国工程院咨询项目“我国激光技术与应用2035发展战略研究”(2018-XZ-27)。
准分子激光具有波长短、能量大等特点,在集成电路光刻、材料加工、医学、科研等领域具有重要的应用。与国外先进水平相比,我国高端准分子激光技术仍存在较大差距。本文首先简要介绍了准分子激光的特点和发展历史,然后分析了国内外准分...
关键词：激光器 准分子激光技术 材料加工 
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