吴兆

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供职机构：中山大学更多>>
发文主题：铜铟镓硒CIS薄膜CIGS薄膜太阳电池隔壁硫化装置更多>>
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单靶溅射法制备CIS薄膜
《科技导报》2016年第2期43-45,共3页吴兆 洪瑞江 
广东省科技计划项目(2014A010106009);广东省教育厅项目(2013CX2DA002)
通过单靶一步溅射再退火的方法,在钠钙玻璃及镀钼玻璃衬底上制备了铜铟硒(CIS)薄膜。通过优化工艺参数,获得了结晶性良好的CIS薄膜,分析了溅射沉积薄膜时衬底温度及不同退火温度对薄膜结晶性的影响。研究发现,衬底温度为150℃时,退火获...
关键词：铜铟硒 磁控溅射 退火 三元靶材 
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