马超

作品数：1被引量：2H指数：1
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晶硅太阳电池氮化硅膜产生色差的影响因素研究被引量：2
《化工中间体》2013年第5期37-41,共5页涂宏波 马超 王学林 谢斌 高林 
采用管式PECVD的方法对硅片进行氮化硅镀膜,通过分析PECVD镀膜原理,探索了硅片表面均一性、卡点的导电导热性、反应温度的均匀性以及电场均匀性对氮化硅膜色差的影响。结论表明,硅片表面微观结构差异较大会造成比表面积明显差异,从而使...
关键词：太阳电池 氮化硅 色差 石墨舟 
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