云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 朱飞

朱飞: 作品数：1被引量：0H指数：0; 导出分析报告; 供职机构：天津大学理学院物理系更多>>; 发文主题：XTEM板层离子注入英文SPAT更多>>; 发文领域：理学更多>>; 发文期刊：《原子核物理评论》更多>>; 所获基金：国家自然科学基金更多>>

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B和H离子顺次注入单晶Si引起的缺陷及其热演变（英文）: 《原子核物理评论》2013年第4期471-476,共6页张蓓张鹏王军朱飞曹兴忠王宝义刘昌龙; National Natural Science Foundation of China(10975107)~~; 室温下将130 keV,5×1014cm 2B离子和55 keV,1×1016cm 2H离子单独或顺次注入到单晶Si中,采用横截面试样透射电子显微镜(XTEM)和慢正电子湮没技术(SPAT)研究了离子注入引起的微观缺陷的产生及其热演变。XTEM观测结果显示,B和H离子顺次...; 关键词：单晶Si B和H离子注入 H板层缺陷 XTEM SPAT