陈炳贤

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NTDFZ（H）－Si单晶中氢沉淀的消除及其在功率器件中的应用
《稀有金属》1995年第3期231-234,230,共5页陈燕生 刘桂荣 王培清 陈炳贤 张文成 郑慧秀 解俊东 
ＮＴＤＦＺ（Ｈ）－Ｓｉ单晶中氢沉淀的消除及其在功率器件中的应用陈燕生，刘桂荣，王培清（北京科技大学１０００８３）（清华大学电力电子厂）陈炳贤，张文成，郑慧秀，解俊东（中国科学院原子能研究院）（冶金部自动化研究院）关键...
关键词：硅 单晶 热处理 微缺陷 功率器件 
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