白雪垠

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CdTe清洁表面的微观平整性研究
《热加工工艺》2016年第8期183-186,共4页任洁 傅莉 白雪垠 
采用氩离子刻蚀加退火获得了CdTe(111)A清洁表面。分析了角分辨光电子能谱和反射式高能电子衍射花样。结果表明:晶面经清洁处理后出现了局域台阶,而刻蚀力度局部的差别造成宏观不平整。另外,表面没有明显的三维凸起等不平整的原子结构,...
关键词：氩离子刻蚀 局域台阶 原子有序性 平整性 
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