任洁

作品数:6被引量:5H指数:1
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供职机构:西北工业大学材料学院更多>>
发文主题:CDZNTE晶片CDZNTE电极引线化学抛光更多>>
发文领域:一般工业技术金属学及工艺电子电信更多>>
发文期刊:《中国有色金属学报》《压电与声光》《功能材料与器件学报》《热加工工艺》更多>>
所获基金:国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”陕西省自然科学基金中国航空科学基金更多>>
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CdTe清洁表面的微观平整性研究
《热加工工艺》2016年第8期183-186,共4页任洁 傅莉 白雪垠 
采用氩离子刻蚀加退火获得了CdTe(111)A清洁表面。分析了角分辨光电子能谱和反射式高能电子衍射花样。结果表明:晶面经清洁处理后出现了局域台阶,而刻蚀力度局部的差别造成宏观不平整。另外,表面没有明显的三维凸起等不平整的原子结构,...
关键词:氩离子刻蚀 局域台阶 原子有序性 平整性 
化学抛光对Au/Hg_3In_2Te_6接触特性的影响
《热加工工艺》2012年第8期135-137,共3页王一义 傅莉 任洁 
国家自然科学基金资助项目(51172185);航空科学基金资助项目(2010ZE53055);西北工业大学凝固技术国家重点实验室基础研究基金资助项目(78-QP-2011);高等学校博士学科点专项科研基金(博导类)资助课题(20116102110013)
采用真空蒸镀法在n型Hg3In2Te6(简称MIT)表面制备了Au和In金属电极,探讨了MIT晶片的化学抛光工艺对其表面成分偏析和Au/MIT接触特性的影响规律与机制,优化了MIT晶体的化学抛光工艺参数。结果表明,MIT晶片采用5%Br2-C3H7ON溶液化学抛光2 ...
关键词:Hg3In2Te6 Au/MIT接触 化学抛光 反向漏电流 I-V特性 
EPG 535光刻胶氧离子刻蚀工艺的研究被引量:1
《压电与声光》2011年第4期523-526,共4页任洁 傅莉 孙玉宝 査钢强 
国家自然科学基金资助项目(50772091);教育部"新世纪人才支持计划"基金资助项目(NCET-07-0689)
采用反应离子刻蚀(RIE)技术,对EPG 535光刻胶和碲锌镉(CZT)基体刻蚀工艺进行研究,采用原子力显微镜(AFM)法测试CZT基体刻蚀前后的表面质量,探讨了EPG 535光刻胶刻蚀速率和CZT基体表面粗糙度的影响因素。结果表明,当RF功率为60 W、氧气...
关键词:氧气反应离子刻蚀(RIE) EPG 535光刻胶 碲锌镉晶片 表面粗糙度 刻蚀速率 
CdZnTe像素探测器表面的氧离子刻蚀工艺被引量:1
《功能材料与器件学报》2010年第5期515-518,共4页孙玉宝 傅莉 任洁 査钢强 
国家自然科学基金项目(50772091;50772091;50902113);教育部"新世纪人才支持计划"(NCET-07-0689);陕西省自然科学基础研究计划(2007E105)
本文报道了CdZnTe像素探测器电极的氧离子刻蚀工艺。通过I-V特性、PL谱以及XPS等实验结果分析了氧离子刻蚀对CdZnTe表面成分、缺陷以及漏电流的影响。研究结果表明,表面氧离子刻蚀在CdZnTe晶体表面形成了致密氧化层。刻蚀功率过大时,刻...
关键词:氧离子刻蚀 CDZNTE晶片 表面性能 
CdZnTe接触电极与引线的超声波焊接被引量:3
《中国有色金属学报》2009年第5期919-923,共5页聂中明 傅莉 任洁 查钢强 
国家自然科学基金资助项目(50772091);教育部新世纪人才支持计划资助项目(NCET-07-0689);陕西省自然科学基础研究计划资助项目(2007E105)
为实现高电阻CdZnTe半导体(简称CZT)接触电极与外引线的超声波焊接,采用正交实验法探讨CZT接触电极与引线超声波焊接质量的影响因素及其作用规律。结果表明:经机械抛光表面处理的CZT晶片,采用离子溅射法制备的金电极与外引线间具有较高...
关键词:CDZNTE晶片 接触电极 超声波焊接 微观组织 正交实验法 
CdZnTe表面处理对其引线超声焊接质量的影响
《材料工程》2008年第9期9-12,共4页聂中明 傅莉 任洁 徐聪 
国家自然科学基金资助项目(50772091);新世纪人才支持计划(NCET-07-0689);陕西省自然科学基金(2007E;05)
采用扫描电镜及EDS测试研究了高电阻CdZnTe金电极与外引线的超声焊接工艺,探讨了CdZnTe表面处理工艺、接触电极厚度及焊接参数对引线超声焊接质量的影响规律。研究结果表明,经机械抛光表面处理的CdZnTe晶片,其金电极与外引线间容易实现...
关键词:CDZNTE晶片 超声焊接 表面处理 电极厚度 
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