云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 王维燕

王维燕: 作品数：1被引量：1H指数：0; 导出分析报告; 供职机构：中国科学院大学更多>>; 发文主题：磁控溅射制备A-SI:H薄膜非晶硅薄膜结构性能结构特性更多>>; 发文领域：理学更多>>; 发文期刊：《真空科学与技术学报》更多>>; 所获基金：安徽省教育厅项目更多>>

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束流对氢离子源辅助磁控溅射制备a-Si:H薄膜结构特性的影响被引量：1: 《真空科学与技术学报》2016年第6期654-658,共5页黄俊俊王辉丁明周守发李梦雨刘琦高敏王维燕; 安徽省教育厅一般项目(KJ2015B1105905);中国科学院能量转换材料重点实验室开放课题基金(KF2016001)资助; 利用氢离子源辅助磁控溅射制备氢化非晶硅薄膜(a-Si:H),借助拉曼光谱仪、红外光谱仪和椭圆偏振光谱仪等分析测试手段,研究氢离子源束流对a-Si:H薄膜结构特性影响规律。结果表明采用氢离子源辅助磁控溅射制备a-Si:H薄膜,有利于改善a-Si:...; 关键词：离子源辅助溅射非晶硅薄膜结构性能束流