章少杰

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发文领域：金属学及工艺自动化与计算机技术文化科学一般工业技术更多>>
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液动压悬浮抛光机床的设计与研究
《制造技术与机床》2017年第1期128-132,共5页章少杰 陈珍珍 文东辉 尹林志 
国家自然科学基金(51375457);浙江省自然科学基金(Y14E050057);浙江省自然科学基金一般项目(LY16E050013)
为了解决纳米薄膜生长所需的原子级超光滑表面制备问题,基于液动压悬浮抛光新方法开展液动压悬浮抛光机床的设计研究。利用铝基盘作上抛光盘,高磷合金铸铁盘作下抛光盘,抛光工件贴于上抛光盘上,上下抛光盘保持一定的间隙并浸没在抛光液...
关键词：超光滑表面 液动压悬浮 抛光盘 非接触式 
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