杨高杰

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：郑州大学机械工程学院更多>>
发文主题：表面形貌白光干涉太阳能电池板衍射光栅压电陶瓷更多>>
发文领域：金属学及工艺电气工程更多>>
发文期刊：《洛阳理工学院学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：河南省科技攻关计划更多>>
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太阳能电池板表面形貌测量仪被引量：1
《洛阳理工学院学报（自然科学版）》2017年第2期48-51,共4页杨高杰 马利民 王淑珍 
河南省科技攻关项目(132102210046)
本文介绍了一种用于太阳能电池板表面质量检测的三维形貌测量仪,重点介绍了基于白光显微干涉和双衍射光栅激光位移计量的垂直扫描系统和计算机信息处理系统的结构组成与工作原理。通过采用该测量仪对标准单刻线样板和A级多晶硅片表面进...
关键词：表面形貌 白光干涉 双衍射光栅 压电陶瓷 柔性铰链 
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