云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 肖晨

肖晨: 作品数：1被引量：1H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：西南交通大学更多>>; 发文主题：压痕选择性刻蚀单晶硅接触压力纳米压痕更多>>; 发文领域：一般工业技术电子电信机械工程更多>>; 发文期刊：《摩擦学学报（中英文）》更多>>; 所获基金：国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金国家教育部博士点基金更多>>

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不同温度下砷化镓表面摩擦诱导选择性刻蚀特性研究被引量：1: 《摩擦学学报》2016年第4期475-480,共6页高健余丙军金晨宁肖晨钱林茂; 国家自然科学基金(51305365);高等学校博士学科点专项科研基金(20130184120008);中央高校基本科研业务费专项资金(2682015CX037)资助~~; 利用摩擦诱导选择性刻蚀的方法,可在砷化镓表面加工一系列的纳米结构;该纳米加工方法无需掩膜,且加工效率高、成本低,具有应用前景.为了进一步研究砷化镓表面摩擦诱导选择性刻蚀的特性,优化加工参数,本文作者在不同温度下利用H_2SO_4-H_...; 关键词：摩擦诱导选择性刻蚀温度砷化镓 AFM