姚尧

作品数:1被引量:1H指数:1
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供职机构:复旦大学信息科学与工程学院专用集成电路与系统国家重点实验室更多>>
发文主题:晶体管短沟道效应动态随机存储器阵列更多>>
发文领域:自动化与计算机技术更多>>
发文期刊:《中国科学:物理学、力学、天文学》更多>>
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动态随机存储器器件研究进展被引量:1
《中国科学:物理学、力学、天文学》2016年第10期36-45,共10页吴俊 姚尧 卢细裙 王鹏飞 
国家自然科学基金资助项目(编号:61322404)
动态随机存储器芯片是集成电路中销售量和销售额最大的单一产品.本文介绍了DRAM存储单元的基本原理并回顾了DRAM的技术发展与关键创新,总结了多种先进技术节点的DRAM芯片制造的关键工艺技术.分析了电容结构、阵列访问晶体管、存储器单...
关键词:动态随机存储器 短沟道效应 掩埋字线 阵列访问晶体管 存储电容 
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