郭旗

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供职机构：电子科技大学物理电子学院应用物理研究所更多>>
发文主题：半导体激光诱导扩散温度监控温度测量更多>>
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激光诱导扩散区的温度监控
《应用光学》1999年第5期24-27,共4页李忠东 郭旗 林为干 
国家自然科学基金;教育部留学回国人员科研启动基金;广东省"千百十工程"优秀人才培养基金
激光诱导扩散中的曝光区大小为１０μｍ 量级，其温度分布的测量是较困难的。本文报道一种曝光中极微小面积的不接触测量及控制。文中介绍测控原理、实验装置，给出测量结果。
关键词：激光诱导扩散 激光诱导处理 温度测量 半导体 
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