蒋大勇

作品数：3被引量：17H指数：2
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：MGZNO射频磁控溅射光电探测器紫外探测器合金薄膜更多>>
发文领域：理学电子电信更多>>
发文期刊：《发光学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国科学院知识创新工程重要方向项目更多>>
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MOCVD生长MgZnO薄膜及太阳盲紫外光电探测器被引量：2
《发光学报》2008年第5期865-868,共4页鞠振刚 张吉英 蒋大勇 单崇新 姚斌 申德振 吕有明 范希武 
国家重点基金(50532050);国家“973”计划(2008CB307105,2006CB604906);国家自然科学基金(60676059,60506014)资助项目
利用MOCVD在蓝宝石衬底上,通过低温生长实现了立方结构、吸收边在255nm的Mg0.52Zn0.48O合金薄膜,并采用传统湿法刻蚀的方法在薄膜上制备了梳状叉指金电极,构成金属-半导体-金属(MSM)结构,实现了在10V偏压下,器件的光响应峰值在250nm,截...
关键词：MgZnO薄膜 太阳盲光电探测器 金属有机化学气相沉积 
太阳盲MgZnO光电探测器被引量：7
《发光学报》2008年第4期743-746,共4页蒋大勇 张吉英 单崇新 吕有明 赵延民 韩舜 姚斌 张振中 赵东旭 申德振 范希武 
国家重点基金(50532050);国家“973”计划(2008CB307105,2006CB604906);国家自然科学基金(60676059,60506014)资助项目
利用射频磁控溅射技术在石英衬底上制备了MgZnO合金薄膜,并采用传统湿法刻蚀的方法在薄膜上制备了梳妆叉指Au电极,构成金属-半导体-金属(MSM)结构。在室温下,实现了太阳盲MgZnO光电探测器,器件的探测峰值位于225 nm,截止边为230 nm。
关键词：MgZnO合金薄膜 太阳盲光电探测器 射频磁控溅射 
用于日盲波段的MgZnO薄膜材料和紫外探测器被引量：8
《中国光学与应用光学》2008年第1期80-84,共5页张吉英 蒋大勇 鞠振刚 申德振 姚斌 范希武 
国家自然科学基金重点项目(No.50532050);中国科学院知识创新工程重要方向项目(KJCX3.SYW.W01);国家重点基础研究发展计划973计划课题(2006CB04906;2008CB317105)
考虑ZnO优秀的物理和化学性能以及由于生长温度低而具有更低的缺陷密度从而易于实现高的光电器件效率等特点,本文采用射频磁控溅射和金属有机化学汽相沉积(MOCVD)方法在石英及蓝宝石衬底上生长了立方结构MgZnO薄膜,制备了MgZnO的MSM型...
关键词：MgZnO薄膜 射频磁控溅射 金属有机化学汽相沉积 日盲紫外探测器 
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