凌兆兴

作品数：1被引量：1H指数：0
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供职机构：华中理工大学物理系更多>>
发文主题：磁控溅射超导膜YBCOYBA气压更多>>
发文领域：理学更多>>
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用FTMS方法原位制备Yba_2Cu_3O_（7－δ）薄膜气压和位置相关性研究被引量：1
《低温物理学报》1994年第5期363-367,共5页曾宪庭 凌兆兴 黄康权 
本文用双靶相对磁控溅射法（ＦＴＭＳ）在１．２Ｐａ至２６．６Ｐａ气压范围原位制备高温超导ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－б薄膜，重点研究了溅射气压和功率与双靶间距和衬底位置之间的相关性．结果表明，为制备高质量超导薄膜，在不同的溅射...
关键词：超导膜 YBCO 制备 磁控溅射 气压 
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