翟玥

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所更多>>
发文主题：厚度硅外延材料功率器件外延层电阻率更多>>
发文领域：电子电信更多>>
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功率器件用150mm高性能硅外延材料的工艺研究被引量：1
《科技创新与应用》2017年第1期37-38,共2页翟玥 
相比硅单晶衬底,硅外延材料电参数均匀性更好,结晶质量更理想,现已成为制备功率器件的关键基础材料。当前半导体行业的迅猛发展,研发工作频率更高的功率器件的迫切性愈加突出,其关键点是进一步提升器件耐压的基础上,能够减小正向导通电...
关键词：外延层 功率器件 厚度 电阻率 均匀性 
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