赵治国

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300mm硅片高精度真空传输系统设计
《组合机床与自动化加工技术》2017年第8期80-84,共5页李学威 何书龙 赵治国 
国家科技重大专项02专项(2014ZX02103005)
文章设计一种300mm硅片真空传输系统,满足市场对硅片传输过程高精度,高洁净度,高效率的需求。其中硅片传输腔室采用真空设计,并优化了真空腔室的结构以适应300mm硅片传输,真空度可达2×10^(-7)Torr。真空机械手采用对称连杆直驱机械手,...
关键词：硅片传输 真空腔室 机械手 纠偏检测系统 
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