刘雅丽

作品数：1被引量：10H指数：1
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供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
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MPCVD生长半导体金刚石材料的研究现状被引量：10
《微纳电子技术》2016年第9期571-581,587,共12页付方彬 金鹏 刘雅丽 龚猛 吴巨 王占国 
北京市科技计划项目(Z151100003315024)
简要介绍了半导体金刚石材料优异的电学和光学性质、主要制备方法以及采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术在制备高质量半导体金刚石材料方面的优势。重点就MPCVD技术在半导体金刚石材料的高速率生长、大尺寸生长、高质量生长以及...
关键词：金刚石 宽禁带 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD) 同质外延生长 掺杂 
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