雷沛

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发文主题：磁控溅射衬底掩模板反蛋白石单晶金刚石更多>>
发文领域：一般工业技术电子电信更多>>
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四面体非晶碳作为薄膜声表面波器件增频衬底的研究
《功能材料信息》2011年第5期17-22,共6页朱嘉琦 雷沛 韩杰才 王赛 
为了提高薄膜声表面波器件工作频率,并增强功率承受能力,采用过滤阴极真空电弧技术制备四面体非晶碳(ta-C)薄膜,用作IDT/ZnO/Si结构的增频衬底。通过解析层状结构声表面波传播状态方程,对IDT/ZnO/ta-C/Si声表面波器件进行优化设计,计算...
关键词：四面体非晶碳 薄膜声表面波器件 增频 过滤阴极真空电弧 
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