邓晓清

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纳米Si-SiO_x薄膜的发光
《材料科学与工程》1998年第2期24-26,共3页邓晓清 张仕国 樊瑞新 
本文阐述了纳米硅－氧化硅光致发光的意义和机理，还分别介绍了目前各种用于制备纳米硅－氧化硅的方法和研究现状，最后讨论了今后的发展趋势。
关键词：发光 硅 氧化硅 薄膜 纳米级 
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