谢利华

作品数：2被引量：9H指数：1
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供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
发文主题：传感器研究钯铬铬合金氢气传感器更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电气工程更多>>
发文期刊：《电子工业专用设备》《载人航天》更多>>
所获基金：载人航天领域预先研究项更多>>
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钯铬合金电阻氢气传感器研究被引量：7
《载人航天》2012年第5期78-81,96,共5页肖友文 谢贵久 王玉明 谢利华 曾固 钱力 宋祖殷 
载人航天领域预先研究项目(02010101)
采用钯铬合金作为氢敏材料，利用离子柬技术制备薄膜式氢气传感器。测试了传感器对0-4%浓度范围氢气的敏感特性，结果显示，传感器对0-4％氢气浓度具有良好的线性输出特性，并表现出较高的响应灵敏度和较好的响应重复性，传感器响应信...
关键词：薄膜 钯铬 氢气传感器 
太阳能电池生产线中的新型等离子体刻蚀机的研制被引量：2
《电子工业专用设备》2010年第8期41-44,共4页陈特超 谢利华 
介绍了用于太阳能电池片生产工艺中的新型等离子体刻蚀机及设备的工作原理、构造、简单的工艺试验结果。与现在生产线上普遍使用的老式等离子体刻蚀机相比,它大大提高了生产产能,减少了设备维护工作量。该设备操作简单,是一种实用、高...
关键词：等离子体 反应离子 刻蚀原理 工艺实验 
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