王玲玲

作品数：1被引量：4H指数：1
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供职机构：武汉大学物理科学与技术学院加速器实验室更多>>
发文主题：磁控溅射法CRN涂层CRN离子源显微硬度更多>>
发文领域：金属学及工艺更多>>
发文期刊：《粉末冶金材料科学与工程》更多>>
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离子源辅助中频磁控溅射法在活塞环表面沉积CrN涂层被引量：4
《粉末冶金材料科学与工程》2010年第6期549-553,共5页闫少健 王玲玲 林宝珠 刘传胜 田灿鑫 王泽松 付德君 
国家科技重大专项(2009ZX04012-032)
用热丝弧光放电离子源辅助的中频磁控溅射装置在单晶硅和渗氮钢质活塞环上沉积CrN涂层,并用X射线衍射、原子力显微镜和电子显微镜测量涂层的微结构,用显微硬度计和球盘式摩擦磨损仪测量涂层的硬度和摩擦性能。与常规的中频磁控溅射法相...
关键词：中频磁控溅射 CRN 离子源 显微硬度 摩擦因数 
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