崔光龙

作品数：1被引量：1H指数：1
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发文主题：电子束蒸发衬底温度ITO薄膜氧分压方块电阻更多>>
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电子束低温蒸发ITO膜增透、增反特性研究被引量：1
《真空》2006年第6期8-10,共3页齐龙茵 张德贤 何俊峰 崔光龙 赵飞 刘召军 李胜林 
本实验是在低温条件下,采用电子束蒸发制备ITO透明导电薄膜,通过监测电阻来控制薄膜的厚度,通过控制薄膜厚度研究了增透和增反两种效果的ITO膜的制备及膜的光学特性。当膜厚达170 nm和83 nm时透过率和反射率可达95%和6%。
关键词：ITO 增透 增反 柔性衬底 电子束蒸发 
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