刘海勇

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：广东工业大学更多>>
发文主题：数字光刻光学系统光学设计平面反射镜中继系统更多>>
发文领域：机械工程电子电信更多>>
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数字光刻缩微投影系统物镜的设计被引量：3
《光电工程》2013年第7期57-62,共6页刘海勇 周金运 雷亮 刘丽霞 刘志涛 郭华 
国家自然科学基金资助项目(60977029);国家自然科学基金青年基金(61107029)
针对高精度数字光刻的缩微光学投影系统,提出并设计了一种适用于0.7XGA型数字微反射镜(DMD)的6片式数字光刻缩微投影物镜。通过优化和拼接三片式物镜结构,得到数值孔径NA=0.1,放大倍率为-0.2558,分辨力达3.5μm,不受DMD栅格效应影响且...
关键词：数字光刻 缩微物镜 数字微反射镜 光学设计 
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