刘志涛

作品数：3被引量：7H指数：2
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供职机构：广东工业大学更多>>
发文主题：光学设计数字光刻PCB镜头设计成像系统更多>>
发文领域：机械工程电子电信更多>>
发文期刊：《激光与光电子学进展》《光电工程》更多>>
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2μm分辨DMD光刻系统镜头设计被引量：2
《光电工程》2015年第3期83-88,共6页郭华 周金运 刘志涛 雷亮 
国家自然科学基金(61475037);国家自然科学基金青年基金(61107029)资助项目
针对2μm分辨力的光刻,在以数字空间微反射器(DMD)为空间光调制器(SLM)的光刻系统中,采用一种新的非对称式结构组合,使用较少的透镜组成了一个高分辨力、大孔径的投影光刻镜头。利用ZEMAX光学设计软件对其进行了建模和优化,最终得到其...
关键词：DMD无掩模光刻 栅格效应 投影镜头 光学设计 
一种新型PCB数字光刻投影成像技术被引量：3
《激光与光电子学进展》2015年第4期161-166,共6页刘志涛 周金运 刘丽霞 郭华 邝健 
国家自然科学基金(61475037);国家自然科学基金青年科学基金(61107029;11304044)
为了满足微米量级印刷电路板(PCB)光刻的需求,提出了一种新型PCB数字光刻投影成像技术。利用ZEMAX光学设计软件设计并优化了双高斯结构型光刻投影物镜。该物镜具有双远心结构,可以避免数字微反射镜(DMD)偏转产生离焦,分辨率可达13.68 mm...
关键词：光学设计 光刻 镜头设计 数字微反射镜 倾斜扫描 成像系统 
数字光刻缩微投影系统物镜的设计被引量：3
《光电工程》2013年第7期57-62,共6页刘海勇 周金运 雷亮 刘丽霞 刘志涛 郭华 
国家自然科学基金资助项目(60977029);国家自然科学基金青年基金(61107029)
针对高精度数字光刻的缩微光学投影系统,提出并设计了一种适用于0.7XGA型数字微反射镜(DMD)的6片式数字光刻缩微投影物镜。通过优化和拼接三片式物镜结构,得到数值孔径NA=0.1,放大倍率为-0.2558,分辨力达3.5μm,不受DMD栅格效应影响且...
关键词：数字光刻 缩微物镜 数字微反射镜 光学设计 
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