邝健

作品数：2被引量：5H指数：2
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供职机构：广东工业大学物理与光电工程学院更多>>
发文主题：光学设计数字光刻成像系统PCB光刻更多>>
发文领域：机械工程一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊：《激光与光电子学进展》《应用光学》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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用于数字光刻的非对称式投影物镜设计被引量：2
《应用光学》2016年第1期52-56,共5页邝健 周金运 郭华 
国家自然科学基金资助项目(61475037)
针对DMD数字光刻,利用ZEMAX光学设计软件,设计出了一套适用于型号0.7XGA DMD的10片式光刻投影物镜。该物镜采用非对称性结构,前组为改进的三分离物镜,后组为匹兹伐物镜加平像场镜,分辨率为2μm,近轴放大倍率为-0.15,像方数值孔径NA为0.1...
关键词：DMD数字光刻 光学设计 投影物镜 非对称式结构 
一种新型PCB数字光刻投影成像技术被引量：3
《激光与光电子学进展》2015年第4期161-166,共6页刘志涛 周金运 刘丽霞 郭华 邝健 
国家自然科学基金(61475037);国家自然科学基金青年科学基金(61107029;11304044)
为了满足微米量级印刷电路板(PCB)光刻的需求,提出了一种新型PCB数字光刻投影成像技术。利用ZEMAX光学设计软件设计并优化了双高斯结构型光刻投影物镜。该物镜具有双远心结构,可以避免数字微反射镜(DMD)偏转产生离焦,分辨率可达13.68 mm...
关键词：光学设计 光刻 镜头设计 数字微反射镜 倾斜扫描 成像系统 
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