程荣俊

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：西安交通大学更多>>
发文主题：石英传感器芯片压焊硅基底硅基更多>>
发文领域：自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>
发文期刊：《仪表技术与传感器》更多>>
所获基金：长江学者和创新团队发展计划国家自然科学基金更多>>
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基于梁膜结构的MEMS高g值加速度传感器被引量：2
《仪表技术与传感器》2014年第2期11-13,23,共4页李晓博 赵玉龙 程荣俊 
长江学者和创新团队发展计划资助项目(IRT 1033);国家自然科学基金(51275402)
为满足高冲击时加速度测量的要求,研制了一种基于梁膜结构的MEMS高g值加速度传感器。内部敏感元件采用对称的十字梁与平膜结合结构,可以有效地降低偏轴影响及横向灵敏度。使用ANSYS软件对芯片结构进行静态分析与模态分析,结果表明其在...
关键词：微机电系统 高g值加速度传感器 有限元仿真分析 测试 
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