彭雪峰

作品数：1被引量：5H指数：1
导出分析报告
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文主题：标定方法光刻机测量方法衍射效率衍射图样更多>>
发文领域：理学机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《中国激光》更多>>
所获基金：国际科技合作与交流专项项目更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
光刻机照明系统中光束稳定技术研究被引量：5
《中国激光》2012年第9期146-152,共7页鲍建飞 黄立华 曾爱军 任冰强 杨宝喜 彭雪峰 胡小邦 黄惠杰 
科技部国际科技合作项目(2011DFR10010)资助课题
光束稳定技术是光刻机照明系统中一项重要的单元技术,其作用是将激光器出射的经长距离传输后的光束稳定在需要的指向和位置上,以保证照明系统具有稳定的光强分布。光束稳定系统主要由光束测量和光束转向两个功能模块组成,推导了两个模...
关键词：光学设计 光刻技术 光束稳定 闭环控制 光束测量 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部