陈婧

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：上海交通大学更多>>
发文主题：微机电系统MEMSSU-8胶金属复合材料锌更多>>
发文领域：电子电信机械工程一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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Su-8胶-金属复合材料电热微驱动器被引量：1
《微纳电子技术》2008年第12期706-711,共6页陈婧 丁桂甫 杨卓青 
国家自然科学基金(50675139);国家863项目(2007AA04Z338)
针对以金属嵌入式Su-8光刻胶作为新型弯曲梁式微驱动器结构材料的特点,在仿真分析过程中,考虑了狭小空气间隙中热传导机制的影响。分析结果表明,器件的工作电压随着悬空高度的增加而降低;当悬空高度达到270μm时,可忽略热传导机制。在...
关键词：电热微驱动器 薄层空气热传导 Cu牺牲层 非硅表面微加工 微机电系统 
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