李晓刚

作品数：3被引量：7H指数：2
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供职机构：北京工业大学激光工程研究院更多>>
发文主题：金属粉末CO_2激光CO2激光PMMA激光刻蚀更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《光电子．激光》《激光与光电子学进展》《中国激光》更多>>
所获基金：北京市教委重点项目北京市教委重点学科建设项目更多>>
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玻璃基板激光选区镀膜研究被引量：1
《光电子．激光》2011年第8期1196-1199,共4页李晓刚 陈继民 刘富荣 李晓宇 张强 
北京市教委重点资助项目(KZ200910005006)
针对传统制备导电薄膜工艺复杂、成本高,且在激光直写导电膜中存在所加入的辅料造成杂质污染以及膜的厚度和粗糙度难以降低等问题,本文采用玻璃衬底激光制备Zn/Al混合粉末生成导电薄膜,实现了无粘结剂和辅料的薄膜生成,研究了工艺参数...
关键词：激光加工 导电薄膜 选区镀膜 金属粉末 
CO_2激光刻蚀PMMA制备微流道的研究被引量：4
《激光与光电子学进展》2011年第4期56-61,共6页李晓宇 陈继民 刘富荣 李晓刚 张强 
北京市教委重点项目(KZ200910005006)资助课题
介绍了采用CO2激光器对聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA)板进行刻蚀制备微流道的工艺实验。通过实验分析工艺参数对微流道深度和宽度的影响及其中变化规律。结果表明,激光线能量密度与刻蚀微流道宽度两者关系呈指数增长,得到了线能量密度和微流...
关键词：激光刻蚀 聚甲基丙烯酸甲脂 CO2激光 微流道 深度模型 
脉冲光纤激光直写金属薄膜电阻实验研究被引量：2
《中国激光》2010年第12期3196-3200,共5页李晓刚 陈继民 刘富荣 
北京市教委重点项目(KZ200910005006)资助课题
目前激光直写膜电阻时,所加入的辅料容易造成杂质污染,膜的厚度和粗糙度难以降低。为减少杂质污染,降低膜厚和表面粗糙度,改善激光直写微电路性能,进行了透射式激光直写金属薄膜电阻的实验研究,分析了薄膜线宽与激光光斑能量分布特点的...
关键词：激光技术 薄膜导线 微电路 激光直写 金属粉末 
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