朱沛

作品数:1被引量:8H指数:1
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精密定位光栅尺的研究进展被引量:8
《激光杂志》2010年第1期1-3,共3页朱沛 张大伟 黄元申 倪争技 庄松林 
国家科技部支撑计划(2006BAK03A03)资助; 上海市科委课题(07DZ22026 08DZ2272800 08ZR1415400)资助
本文主要简述光栅尺的最新发展历程。介绍了光栅尺的结构和测量原理以及光栅尺的分类和应用,讨论了光栅尺发展所面临的测量精度、信号处理及栅距细分、光栅的参考标记和绝对坐标以及光栅的载体和热性能等关键问题,并指出了光栅尺未来良...
关键词:精密定位 莫尔光栅 光栅尺 位移检测 
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