代海洋

作品数：3被引量：2H指数：1
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基体偏压对中频磁控溅射沉积DLC膜结构的影响
《真空》2008年第6期36-39,共4页姜辉 代海洋 
利用中频非平衡磁控溅射技术，以氩气和甲烷混合气体为工作气体，在载玻片和单品硅片上沉积含氢的类金刚石薄膜。改变加载在基体上的负偏压，在0-400V范围内，制备5种偏压值下的薄膜，研究偏压对薄膜结构的影响。用光学显微镜和AFM考察...
关键词：含氢类金刚石薄膜 中频 偏压 
动态离子束混合技术制备氧化铬薄膜的X射线光电子能谱与俄歇电子能谱研究被引量：2
《核技术》2007年第5期419-423,共5页代海洋 王治安 黄宁康 
本文介绍的动态离子束混合技术制备氧化铬薄膜系在不锈钢基体上进行1keV氩离子束溅射沉积铬(同时通入一定量的O),并用100keV的氩离子束或氧离子束轰击该样品。对两种离子束轰击形成的氧化铬薄膜进行了X射线光电子能谱(X-ray photoelectr...
关键词：氧化铬薄膜 动态离子束混合技术 X射线光电子能谱 俄歇电子能谱 
两种离子束方法制备Cr膜的分析研究
《微细加工技术》2007年第1期32-35,50,共5页王治安 代海洋 黄宁康 
在室温下,采用离子束溅射同时经100 keV Ar+离子轰击的动态离子束混合技术和采用离子束溅射技术这两种方法制备Cr膜,并用XPS,SEM及AES对薄膜的结构、表面形貌、薄膜与基体附着力的影响等进行分析对比。结果表明,与离子束溅射技术制备的C...
关键词：动态离子束混合 Cr膜 附着力 
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