杨地委

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：中国科学院合肥物质科学研究院更多>>
发文主题：电容式MEMS红外气体传感器单色性气体检测更多>>
发文领域：自动化与计算机技术理学电子电信更多>>
发文期刊：《传感器与微系统》《仪表技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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基于红外热效应的电容式气体传感器研究被引量：1
《传感器与微系统》2011年第4期31-33,36,共4页张正勇 杨地委 
国家"863"计划资助项目(2007AA04Z332);国家自然科学基金重点资助项目(50534050)
提出了一种利用气体吸收红外并产生热效应现象检测气体的方法,设计并制造了一种红外电容式气体传感器。该气体传感器采用在密封气室中密封纯净的被测气体,利用被测气体吸收红外的热效应并由此产生压力变化,该压力变化转换为弹性应变膜...
关键词：气体传感器 红外热效应 电容 红外差分吸收 
一种用于气体检测MEMS电容式红外发光强度探测器
《仪表技术》2011年第3期68-70,共3页杨地委 张正勇 
文章提出了一种用于气体检测的MEMS电容式红外发光强度探测器。结合理论推导和仿真分析确定了该探测器的尺寸大小,并对其制作工艺流程做了叙述。它基于气体的红外吸收热效应,借助弹性薄膜的形变将热量变化转变为电容量变化,再经基于运...
关键词：气动腔 平板电容 红外探测器 微电子机械系统 
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