李西平

作品数：1被引量：1H指数：1
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APCVD法沉积温度对TiO_2薄膜结构的影响被引量：1
《材料导报》2006年第F05期82-84,共3页庞世红 王承遇 李西平 刘静维 唐艳玲 
国家高技术研究发展计划(863计划)项目(2001AA322030)
利用APCVD方法在浮法玻璃表面沉积了TiO2薄膜,并用XRD和AFM分别研究了不同沉积温度下薄膜的晶型结构以及表面形貌。结果表明,随着沉积温度的升高,薄膜的晶型逐渐由无定形态转变为锐钛矿和金红石,薄膜的表面平均粗糙度逐渐变大。
关键词：APCVD TIO2 晶型转变 浮法玻璃 
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