杜海涛

作品数：1被引量：5H指数：1
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供职机构：南京航空航天大学机电学院更多>>
发文主题：光刻凹坑微细电解加工阵列结构电液更多>>
发文领域：金属学及工艺更多>>
发文期刊：《机械工程学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金江苏省自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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电解转印法加工凹坑阵列结构试验研究被引量：5
《机械工程学报》2010年第3期172-178,共7页杜海涛 曲宁松 李寒松 钱双庆 
国家自然科学基金(50875129);江苏省自然科学基金(BK2007530);国家高技术研究发展计划(863计划;2006AA04Z321)资助项目
为得到降低摩擦副表面磨损所需的微小凹坑阵列结构,提出电解转印法加工凹坑阵列的工艺方法。对电解转印法加工过程进行有限元仿真,分析光刻胶膜厚度对凹坑尺寸和形状的影响。用光刻的方法制作尺寸均一,单个孔径为100μm的阴极平板。进...
关键词：光刻 微细电解加工 凹坑阵列 
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