张珈铭

作品数：1被引量：2H指数：1
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发文主题：浆料硅太阳电池自组装体系太阳电池印刷品质更多>>
发文领域：一般工业技术更多>>
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PECVD法硅纳米晶体的制备及在线表面改性被引量：2
《西南民族大学学报（自然科学版）》2014年第6期928-934,共7页张珈铭 张念波 张静全 李卫 武莉莉 黎兵 冯良桓 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2011AA050515)
通过等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制备粒径大小可以控制的硅纳米晶体,并对制备的纳米晶硅进行了在线表面改性.实验结果表明:成功获得了表面经烃基改性的不同粒径的纳米晶硅.相较于没有改性的纳米晶硅,它具有良好的抗氧化性和抗团...
关键词：纳米晶硅 PECVD 制备 表面改性 
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