赵振宇

作品数:1被引量:4H指数:1
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供职机构:中北大学更多>>
发文主题:微悬臂梁硅基厚膜单端相变更多>>
发文领域:电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊:《测试技术学报》更多>>
所获基金:中国博士后科学基金山西省基础研究计划项目国家自然科学基金更多>>
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硅基反铁电薄膜微悬臂梁力学仿真分析被引量:4
《测试技术学报》2010年第5期444-448,共5页赵振宇 卢荻 丑修建 刘俊 
国家自然科学基金资助项目(60806039);中国博士后科学基金资助项目(20090461275);山西省基础研究计划项目(20100210023-6)
采用双层微悬臂梁理论模型,对基于反铁电薄膜微悬臂梁驱动构件的力学行为进行分析研究.以反铁电薄膜材料体积应变=ε0.8%为设定量,实现硅基反铁电薄膜微悬臂梁结构的应变-应力载荷转化,运用AN SY S11.0对基于反铁电薄膜应变效应的硅基...
关键词:反铁电薄膜(PLZT) 微悬臂梁 应变效应 力学行为 仿真分析 
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