王坤博

作品数：3被引量：13H指数：2
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供职机构：北京航空航天大学更多>>
发文主题：谐振特性谐振腔探测器ICP刻蚀硅更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《激光与光电子学进展》《红外与激光工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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新型混合式集成光学陀螺系统(英文)
《红外与激光工程》2014年第9期3089-3093,共5页冯丽爽 王坤博 郅银周 王俊杰 
国家自然科学基金(61171004)
提出了一种混合式集成光学陀螺系统结构。所有的无源光学器件在单一硅片上进行加工。光源和探测器等有源器件通过倒装焊的工艺进行键合。此种结构的主要优势是去除了外部的调制器,将陀螺系统的集成化提高到一个新水平。详细阐述了混合...
关键词：集成光学陀螺 混合集成 电流调制 
亚微米硅基波导光学相位调制器的优化分析被引量：2
《激光与光电子学进展》2012年第10期161-167,共7页董正芳 周震 王坤博 冯丽爽 
国家自然科学基金(61171004)资助课题
建立了基于注入式PIN结构的亚微米硅基波导光学相位调制器模型,对该调制器模型的光学特性和电学特性进行了理论分析和仿真,确定了器件的单偏振单模条件。在此条件下,重点分析并讨论了在不同结构参数与掺杂条件下器件调制效率的变化特性...
关键词：光学器件 光学相位调制器 绝缘体上硅 亚微米波导 PIN结构 
ICP刻蚀硅形貌控制研究被引量：11
《传感技术学报》2011年第2期200-203,共4页刘欢 周震 刘惠兰 冯丽爽 王坤博 
国家自然科学基金项目(50875015)
硅的刻蚀形貌控制是MEMS器件加工中的关键技术之一,形貌控制是硅表面刻蚀和钝化反应取得平衡的结果,任何影响刻蚀和钝化反应的因素都会影响到刻蚀形貌。采用中科院微电子研发中心研制的基于化学平衡原理的ICP-98A等离子刻蚀机,对ICP刻...
关键词：ICP刻蚀 硅 形貌控制 bowing效应 工艺参数 
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