云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 杨春晓

杨春晓: 作品数：1被引量：1H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：复旦大学更多>>; 发文主题：ZRNX射线光电子能谱XPS研究扩散阻挡层低K介质更多>>; 发文领域：电子电信更多>>; 发文期刊：《半导体技术》更多>>

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ZrN扩散阻挡层与SiCON低k介质界面特性XPS研究被引量：1: 《半导体技术》2010年第2期105-108,共4页杨春晓张驰徐赛生丁士进张卫; 国家基础研究重点发展项目(2006CB302703);"先进互连材料和概念"国际研究培训组中的中国教育部支持; 对ZrN扩散阻挡层与SiCON低k介质(k=2.35)的界面特性进行了XPS分析。实验结果表明,刚淀积的样品中ZrN与SiCON薄膜之间有一定程度的相互扩散并形成界面区。在界面区内Zr与SiCON薄膜中O及N元素相互作用成键,表明ZrN/SiCON界面有良好的黏附...; 关键词：界面 ZrN阻挡层 SiCON低介电常数薄膜 X射线光电子能谱