郑晓锋

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：浙江工业大学更多>>
发文主题：CMP荧光强度晶圆抛光液LIF更多>>
发文领域：金属学及工艺电子电信更多>>
发文期刊：《新技术新工艺》更多>>
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基于激光诱导荧光技术的化学机械抛光机理的应用研究被引量：2
《新技术新工艺》2008年第4期53-57,共5页楼飞燕 赵萍 郑晓锋 袁巨龙 周兆忠 
国家自然科学基金(50475119);浙江省自然科学基金(Y104241;Y104494;Y106590)
虽然化学机械抛光(CMP)技术在半导体产业中得到越来越广泛的应用,但人们对化学机械抛光加工的理解还多半停留在经验阶段,为深入研究其加工机理,引入了激光诱导荧光(LIF)检测技术,在化学机械抛光(CMP)过程中使用LIF技术对晶片下抛光液的...
关键词：化学机械抛光(CMP) 激光诱导荧光(LIF) 荧光强度 
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