云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 邓雷磊

邓雷磊: 作品数：1被引量：4H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：厦门大学更多>>; 发文主题：ZNOX射线衍射结构特性射频磁控溅射扫描电子显微镜更多>>; 发文领域：理学电子电信更多>>; 发文期刊：《发光学报》更多>>; 所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划福建省科技计划重点项目更多>>

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ZnO薄膜的制备和结构特性及应变被引量：4: 《发光学报》2006年第6期922-926,共5页邓雷磊吴孙桃李静; 国家"973"计划(2001CB610505; 2001CB610506; 2002CB211800; 2002CB211807);国家自然科学重点基金(90206039);福建省科技计划重点项目(2005H043);厦门大学科技创新项目(XMKJCX20051025)资助项目; 在SiO2／Si衬底上面，利用射频磁控溅射方法，在不同的工艺条件下生长ZnO薄膜，然后进行热处理（600-1000℃退火）。研究了氩氧比和退火温度对薄膜结晶性能的影响。薄膜的表面结构和晶体特性通过扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD...; 关键词：ZNO薄膜射频磁控溅射 X射线衍射扫描电子显微镜